210 FV 蝶閥提供與標準閘閥相同的可靠真空隔離,并具有占地面積要求更低的優(yōu)勢。蝶形原理與緊湊型執(zhí)行器設(shè)計相結(jié)合,可以在空間非常有限的情況下進行安裝。
在壓差條件下,閥門完全運行。
210系列已安裝在各種工藝條件下的數(shù)千種苛刻應(yīng)用中,證明了其可靠性。210系列具有堅固的設(shè)計以及減少和易于維護的特點,在各個方面都令人信服。
事實證明,210 FV 蝶閥特別適合用作真空泵隔離閥。
210 FV 蝶閥系列采用不銹鋼材質(zhì),帶有用于 DN 63 - 160mm (2½” - 6”) 的 ISO-F 標準法蘭連接器以及用于 DN 250mm (10”) 的 ISO-F 和 ISO-K 法蘭連接器??梢约捎糜诖旨庸ぃㄅ月罚⑴艢饣騼x表的端口。
閥蓋和板密封的密封材料是 FKM Viton。
緊湊設(shè)計:該蝶閥采用緊湊型設(shè)計,具有低安裝高度,便于在有限的空間內(nèi)安裝和使用。
高真空隔離性能:在緊湊的設(shè)計中提供可靠的真空隔離,確保真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性和密封性。
高電導(dǎo)率:電導(dǎo)率高達1000 ls?¹,有助于減少流體阻力,提高系統(tǒng)效率。
耐壓范圍廣:lowest壓力可達1×10?? mbar,highest壓力可達4.0 bar(abs),適用于多種真空和壓力環(huán)境。
長壽命:經(jīng)過嚴格測試,具有長循環(huán)壽命,減少了更換和維護的頻率。
不銹鋼材質(zhì):所有真空部件均采用不銹鋼制造,具有良好的耐腐蝕性和耐久性。
標準配置:配備ISO-F法蘭,便于與標準管道系統(tǒng)連接。

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產(chǎn)地 |
瑞士 |
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公稱通徑 |
DN 100(4英寸) |
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法蘭類型 |
ISO-F |
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驅(qū)動方式 |
手動,配備手動手柄 |
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材料 |
閥體:AISI 304 / DIN 1.4301不銹鋼 |
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閥軸和閥板:AISI 304 / DIN 1.4301不銹鋼 |
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電導(dǎo)率 |
1000 ls?¹ |
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壓力范圍 |
lowest壓力:1×10?? mbar |
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highest壓力:4.0 bar(absolutely壓力) |
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壓差范圍 |
閥板兩側(cè)壓差:≤4 bar |
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打開時壓差:≤1.3 bar |
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密封材料 |
FKM(氟橡膠) |
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使用溫度范圍 |
highest可達150°C(具體溫度范圍可能因應(yīng)用而異) |
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重量 |
5.2 kg |
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緊湊設(shè)計 |
具有低安裝高度,便于在有限的空間內(nèi)安裝和使用。 |
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高真空隔離性能 |
在緊湊的設(shè)計中提供可靠的真空隔離。 |
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長壽命 |
經(jīng)過嚴格測試,具有長循環(huán)壽命,減少了更換和維護的頻率。 |
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耐腐蝕性強 |
所有真空部件均采用不銹鋼制造,具有良好的耐腐蝕性和耐久性。 |

VAT蝶閥21040-PE06-ABA2廣泛應(yīng)用于需要高真空隔離和可靠密封的場合,包括但不限于以下領(lǐng)域:
半導(dǎo)體生產(chǎn):用于過程控制和隔離、基質(zhì)轉(zhuǎn)移等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
顯示器生產(chǎn):適用于顯示干式蝕刻、濺射、薄膜封裝(CVD)、OLED蒸發(fā)等工藝。
其他行業(yè):如真空爐、真空運輸、電池生產(chǎn)、晶體生長、真空干燥等。